PECVD核心问题讨论

最近本人遇到一个难题,也就是我们做PECVD经常要考虑的：SiN钝化作用！
目前我们做出来的电池片，镀膜以后少子寿命有明显的下降，一直在寻找原因。
问各位能兄是否遇到相同的情况！或者提供相关的能够提高少子寿命的工艺方案。
设备大家都知道，是板P和管P！