这两天,烧结后测试电池片性能参数,发现极不稳定.有以下几种情况:
1.开始一批效率基本上16.3左右,下一批用相同的烧结参数,效率就大幅下滑,低效片很多(不计入合格片),平均效率在15.5左右.
2.个别片子开路电压在0.59伏左右,但短路电流也变成了0.6安左右,重烧后效率有所提升,但提升不大,这种情况从没遇见过.
3.烧结参数,维持带速不变(5.26m/min,这个参数是否过大?影响烧结的稳定性?),烧了20片,出现了15.5以上的16片,4片低效片.重烧低效片,效率能升到15左右,这四片低效片应该是没有烧好,同一批片子,烧结好坏程度不同,是什么原因造成的呢?SIN膜不均匀?还是烧结重复性不好?抑或是其他原因?
4.大家有没有碰到过 晚上烧结不稳定这种问题?我晚上更改参数后,将8区 9区 温度提高到876 882, 带速不变5.27,烧出的片子(4片)低效,用万用表测试其暗电压,其值为241mv.判断是没有烧好,而不是烧穿,这么判断是否正确?白天不用那么高的温度,能稳定烧出16.5左右的电池片?这是怎么回事?
5.电阻率越大的硅片,扩散后结深越大,结深了,就不易烧透,有电阻率的原因么?
6.国产PECVD长膜时间为120s,而进口设备长膜时间720s,国产PECVD长膜的均匀性和致密性是否存在不稳定的情况?该如何改进?
1.开始一批效率基本上16.3左右,下一批用相同的烧结参数,效率就大幅下滑,低效片很多(不计入合格片),平均效率在15.5左右.
2.个别片子开路电压在0.59伏左右,但短路电流也变成了0.6安左右,重烧后效率有所提升,但提升不大,这种情况从没遇见过.
3.烧结参数,维持带速不变(5.26m/min,这个参数是否过大?影响烧结的稳定性?),烧了20片,出现了15.5以上的16片,4片低效片.重烧低效片,效率能升到15左右,这四片低效片应该是没有烧好,同一批片子,烧结好坏程度不同,是什么原因造成的呢?SIN膜不均匀?还是烧结重复性不好?抑或是其他原因?
4.大家有没有碰到过 晚上烧结不稳定这种问题?我晚上更改参数后,将8区 9区 温度提高到876 882, 带速不变5.27,烧出的片子(4片)低效,用万用表测试其暗电压,其值为241mv.判断是没有烧好,而不是烧穿,这么判断是否正确?白天不用那么高的温度,能稳定烧出16.5左右的电池片?这是怎么回事?
5.电阻率越大的硅片,扩散后结深越大,结深了,就不易烧透,有电阻率的原因么?
6.国产PECVD长膜时间为120s,而进口设备长膜时间720s,国产PECVD长膜的均匀性和致密性是否存在不稳定的情况?该如何改进?