PSG去除的基本参数问题?

偶是新人,被分配到了,去PSG工艺.但是由于没啥经验,以下几个问题请功高手们告知一下.
PSG去除的HF浓度大家都用多少啊?
大家用的HF浓度刻蚀速率一般都是多少呢?
需要多长时间?
刻蚀的温度应该保持多少呢?