中国电科国家科技重大专项任务获突破 300mm多线切割机研制成功

中国电科承担的国家重大科技专项--极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项――课题之一的300mm多线切割机近日研制成功。该设备研制成功，打破了国内生产线上运行的12英寸多线切割机全部为进口设备现状。该设备具有完全自主知识产权。目前，中国电科已经初步形成了601太阳能多线切割机、300mm多线切割机等系列化的多线切割设备，占据了国内线切割技术的制高点，满足了不同行业、不同规模客户的不同需要。

该项目是由中国电科自行设计、配套，克服了断线、移动臂移动失位、钢丝带不进砂浆等实际问题，一次性切割出400多片满足生产线要求的12英寸硅片。

300mm多线切割机技术可应用到太阳能电池行业，可一次性切割156mm×156mm的硅片5000―6000片。目前，中国电科已与全球最大的太阳能硅片企业签订战略合作协议，进行大线锯的研发，2011年6月前后完成商业机型的生产线工艺验收。