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MKS提供半导体及太阳能产业最佳制程控制系统

   2008-09-10 ne21.com21世纪新能源12130
万机仪器公司(MKS Instruments Inc.)成立于1961年,提供全球尖端制程科技所需的仪器、次系统、制程控制解决方案,以及量测、制程控制、能源、监测分析等,以提升制程效率及机器产能,其产品从核心技术衍生包含压力及气体流量量测及控制、材料输送、气体成分分析、静电消除管理、机器数据及控制技术、电浆源及气体产生器和相关真空技术,服务的产业包括半导体设备及生产工厂,以及相关薄膜制程应用,如:平面显示器、太阳能、光盘纪录媒体,以及任何先进镀膜技术,同时其产品及技术也应用于其它尖端科技如制药、生化制程、能源再生、环保监测等领域。


MKS以最优良产品结合产业布局提供包括:管理制程气体流量进出制程腔体、测量及控制混合制程气体压力、分析及监测气体成份、隔离制程环境受外在因素影响、供应制程电浆能源、产生腔体清洁用之制程气体、结合各式各样感应器、系统及控制器、管理静电效应、校正仪器确保制程再现性、整合产品提供特殊制程系统等。


在整体经济因素和全球竞争的影响下,半导体厂商一方面缩减资本支出,另一方面又要维持竞争优势。因此,MKS精心挑选在业界最受肯定的制程控制系统,推出新一代产品,希望帮助客户轻松升级现有设备,用更经济的方式持续提升制程质量、产量和机器使用率。


例如,MKS的远端电浆系统(Remote Plasma System) ,其专利产品ASTRON可以达到高效率的制程腔体清洁效果,透过模块化的设计,让使用者更容易管理与控制,提升制程管理效率并降低维护成本,广泛使用在半导体、平面显示器及太阳能产业。


万机科技为MKS在台湾的子公司,提供MKS相关产品销售及技术服务。随著半导体、平面显示器及太阳能产业的持续蓬勃发展,MKS也将投入更多资源以提供更好的产品及服务为产业的前景贡献心力。





图说:MKS远端电浆系统(Remote Plasma System)。


 
标签: 太阳能
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