TÜV南德意志集团日前公布了Schmid Silicon Technology(SST)公司的氯氢化反应制三氯硅烷工艺的测试结果。这项研究位于SST在德累斯顿的工厂,开始于2011年12月,在测试中,这项工艺的参数都被调制最低,以检验SST氯氢化反应技术在最“恶劣”情况下的最低转化率。
在测试中,流化床反应器的反应时间减少60%,反应温度设为最低,在这样的情况下,氯氢化反应的转化率为24.3%。SST的首席运营官Jochem Hahn表示,“我们很自豪向多晶硅产业推出我们的低压氯氢化反应系统。相比传统高压氯氢化反应系统,我们先进的低压氯氢化反应系统在操作性、安全性以及成本方面拥有诸多优势。”
TÜV南德意志集团同时证实在正常工作温度和满负荷情况下,三氯硅烷产量还可以进一步提高。Jochem Hahn表示,“我们的转化率可以达到26.8%,而且还有进一步上升的空间。”
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