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无接触式 厚度 TTV Warp\翘曲度 Bow\弯曲度

 
型号: DSi800
单价: 面议
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供货总量:
发货期限: 自买家付款之日起 3 天内发货
所在地: 上海 闵行
有效期至: 长期有效
最后更新: 2013-01-30 14:38
浏览次数: 3652
 
公司基本资料信息
详细说明


能够测量Si,蓝宝石,GaAs,InP,Ge等材料
硅片要求
规格:         晶圆2"、 3"、4"、5"、6"、8"
测量功能       厚度:单点及多点厚度
        TTV:总厚度偏差
       Warp:翘曲度
  Bow:弯曲度

测量指标
  厚度  范围:150-1000μm
   测量误差:≤±1.0μm
   重复性1σ:≤0.2μm
  TTV 范围:0.0-200.0μm
   测量误差:≤±1.0μm
   重复性1σ:≤0.5μm
  Warp 范围:500μm
   测量误差:≤±4.0μm
   重复性1σ:≤0.5μm
  Bow 范围:±500μm
   测量误差:≤±4.0μm
   重复性1σ:≤0.5μm
 

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